题目：超快激光多光子技术及其微纳结构与器件构筑
报告人：郑美玲副研究员（中科院理化技术研究院）
主持人：曹耀宇研究员
时间：2017年1月17日10:00
地点：曾宪梓科学馆405会议室

报告摘要：

光电子、微机电等领域涉及到的大多数微纳结构具有复杂的三维特征，而传统的纳米压印、电子束刻蚀等技术手段无法一次性实现三维微纳结构的制备。激光加工技术作为重要的先进制造技术之一已广泛应用于众多的工业制造领域。利用激光直写技术进行加工时，其所能达到的加工分辨率一直受到经典光学理论衍射极限的限制，难以实现纳米尺度的加工。而飞秒激光多光子微纳加工技术利用非线性光学效应以及激光与物质作用的阈值效应，成功地实现了纳米尺度的激光直写光刻分辨率，已成为目前国际上研究热点之一。利用多光子超衍射纳米加工技术独有的高精度、良好的空间分辨率和真三维加工能力，已制备出了各种微尺度光子学器件及微机电系统，充分展示了该技术的应用前景，可望在功能性微纳器件制备等纳米技术领域发挥重要作用。本报告将讨论超快激光多光子技术这一非线性纳米光刻原理、最新技术进展及其在微纳结构与器件构筑中的应用。

报告人简介：

郑美玲，理工学双博士，中科院理化技术研究所副研究员，中科院仿生智能界面科学重点实验室有机纳米光子学实验室负责人，中科院大学未来技术学院博士生导师。于2009年和2010年在中科院和日本大阪大学获理、工学双博士学位，2015年曾在大阪大学任日本JSPS访问学者。主要从事激光技术在微纳结构制造及显微成像中的应用研究，在光功能材料设计合成、微纳结构3D打印、各类细胞培养与生物相容性研究、荧光成像与分析等方面取得了一系列研究成果。在Laser Photonics Rev., Chem. Soc. Rev., Chem. Sci., Adv. Mater., Nanoscale等核心期刊上发表SCI论文60余篇，其中第一及通讯作者28篇，封面文章4篇；英文专著3章，申请专利5项，其中授权3项，国内外主流学术会议邀请报告10余次。曾先后获得4次国际国内学术会议最佳墙报奖及最佳论文发表奖，及中科院理化所2011年“优秀青年学术报告会”特等奖。作为项目负责人主持多项国家自然科学基金委青基、面上、国际合作项目，中科院-JSPS及奥地利国际合作项目及中科院理化所所长基金项目；作为子课题负责人承担国家纳米重大研究计划973项目，中科院重点部署项目及北京市科委项目；作为主要研究人员参加国家自然科学基金重大研究计划重点支持项目，集成项目；执行科技部国际合作项目。现任中国感光学会影像信息功能材料与技术专业委员会委员。

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光子技术研究院

2017年1月16日