超衍射激光纳米光刻技术
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超衍射激光纳米光刻技术

 

学术带头人:

    段宣明 教授/973项目首席科学家

研究内容简介:

    以突破光学衍射极限这一重大科学问题为核心,开展激光直写与无掩模投影相结合的激光纳米光刻新原理、新技术、新装备、新工艺、新材料的研究,发展具有自主知识产权的低成本、高效率新型纳米光刻技术,促进我国在新一代信息技术领域实现跨越式发展,满足国家重大需求。

 

 

 

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