学术带头人：
段宣明 教授/973项目首席科学家
研究内容简介：
以突破光学衍射极限这一重大科学问题为核心，开展激光直写与无掩模投影相结合的激光纳米光刻新原理、新技术、新装备、新工艺、新材料的研究，发展具有自主知识产权的低成本、高效率新型纳米光刻技术，促进我国在新一代信息技术领域实现跨越式发展，满足国家重大需求。
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