公司：Thermo Scientific（原FEI）
型号：Apreo S
产地：捷克
Apreo功能最为丰富的高性能SEM
Apreo复合透镜结合了静电和磁浸没技术，可产生前所未有的高分辨率和材料对比度。
Apreo是研究纳米颗粒、催化剂、粉末和纳米器件的理想平台，而不会降低磁性样品性能。传统的高分辨率SEM透镜技术分为两类：磁浸没或静电。FEI首次将两种技术结合到一个仪器中。这样做所产生的成效远远超过任一种镜筒的个体性能。两种技术均使电子束形成细小探针，以提高低电压下的分辨率，并使信号电子进入镜筒。通过将磁透镜和静电透镜组合成一个复合透镜，不但提高了分辨率，还增加了特有的信号过滤选项。静电-磁复合末级透镜在1 kV电压下的分辨率为1.0 nm（无电子束减速或单色器）。
Apreo拥有透镜内背散射探测器T1，其位置紧靠样品以便尽可能多地收集信号，从而确保在很短的时间内采集数据。与其他背散射探测器不同，这种快速的探测器始终可保证良好的材料对比度，在导航时、倾斜时或工作距离很短时也不例外。在敏感样品上，探测器的价值凸现出来，即使电流低至几pA，它也能提供清晰的背散射图像。复合末级透镜通过能量过滤实现更准确的材料对比度以及绝缘样品的无电荷成像，进一步延伸了T1 BSE探测器的潜在价值。它还提供了流行选项来补充其探测能力，例如定向背散射探测器(DBS)。
每个Apreo都按标准配备各种用以处理绝缘样品的策略，包括：高真空技术，例如SmartSCAN™、漂移补偿帧积分(DCFI)和电荷过滤。
电子光学器件
•高分辨率场发射SEM镜筒，配有:
–高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率分析电流
– 复合末级透镜：静电、无磁场和浸没磁技术结合而成的物镜*
– 60° 物镜几何结构：支持倾斜较大的样品
•自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔
• 载物台偏压在-4000 V到+600 V之间的电子束减速
•持续的电子束电流控制和经过优化的孔隙角度
•双载物台扫描偏转
•轻松安装和维护的电子枪 – 自动烘烤、自动启动、无需机械合轴
•保证的最短灯丝寿命：24个月
电子束分辨率（在最佳工作距离）
高真空
15 kV 0.7 nm
1 kV 1.0 nm
1 kV (样品台减速) 0.8 nm
500 V (样品台减速) 0.9 nm
100 V (样品台减速) 1.8 nm
电子束参数
•电子束电流范围: 1 pA - 400 nA
•加速电压: 200 V – 30 kV
•着陆能量范围: 20 eV – 30 keV
•最大水平视场宽：10 mm工作距离下为 3.0 mm（对应于最小放大倍率 x29）
•10mm分析工作距离1 kV时电子束分辨率: 1 nm
探测器
Apreo通过可用探测器或探测器的分割部分的任意组合，最多可同时探测四个信号：
•Trinity探测系统（透镜内和镜筒内）
–T1分割式透镜内低位探测器（A、B象限，A+B，A-B）
–T2透镜内高位探测器（A、B象限，A+B）
–T3镜筒内探测器*
•ETD – Everhart-Thornley SE探测器
•IR-CCD
•Nav-Cam+ ™ - 安装在仓室内的样品导航摄像头
图像处理器
•驻留时间范围为25ns – 25ms/像素
•最高6144 × 4096像素
•文件类型：TIFF（8、16、24位）、JPEG或BMP
•单帧或4视图图像显示
•SmartSCAN（256帧平均或积分、线积分和平均法、隔行扫描）
•DCFI（漂移补偿帧积分）
郑书培 编辑