公司：COHERENT

型号：Compex Pro 110F

工作气体：0.17% F₂、5.33% Ar、16.50% He、78.00% Ne

工作波长：193 nm

最大重复频率：100Hz

最大脉冲能量：200mJ

最大平均功率：12W

能量稳定度（1 Sigma）：2%

脉冲持续时间（FWHM）：典型值15ns

激光器体积：1300*920*380（mm³）

外光路

出射光斑：能量20~60mJ，重复频率1~100Hz

反射镜：入射角45±3°，适用波长193nm，外径φ30mm，厚度5mm，反射率>95%，激光损伤阈值2J/cm²

柱透镜：适用波长185nm~2.1um，外径f=100mm，H=30mm，L=45mm，透射率<90% /10mm

激光损伤阈值5J/cm²

输出激光能量密度：100~300mJ/cm²

冉洋 供稿

郑书培 编辑