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小型离子溅射仪

发布单位:方再金 发布时间:2021-08-23

公司:北京中科科仪

型号:SBC-12

玻璃处理室:Φ100mm、高度130mm

试样台尺寸:Φ40mm可同时放6个样品杯

金靶尺寸:Φ58mm

真空系统:直联旋片真空泵2L/S

真空检测:皮氏计

真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空



孙立朋 供稿

郑书培 审核