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三轴NanoMax挠性位移台

发布单位:方再金 发布时间:2021-08-23

公司:Thorlabs

型号:MAX312D

XYZ轴行程为4 mm

尺寸:112.0 mm x 112.0 mm,不包括驱动器

压电选项在闭环中提供最高5 nm分辨率




孙立朋 供稿

郑书培 审核