公司：Thorlabs

型号：MAX683

X轴、Y轴和Z轴行程：4 mm(0.16英寸)

θx、θy、θz(摆动、俯仰和偏转)行程：6°(105 mrad)

压电选项提供最高1 nm的分辨率

X轴和Z轴：1 N/µm 

Y轴：0.5 N/µm

共振频率高：>130 Hz(±10%)

孙立朋 供稿

郑书培 审核